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July 03, 2009

エレクトロスプレー・デポジション法

液晶テレビの特許訴訟なかなかにぎやかですな。

新しい方式開発して、量産化すれば、そげな問題に直面しなくて済みます。
そんなの簡単にできれば誰も苦労しませんが。

エレクトロスプレー・デポジション法で有機EL薄膜パターンを形成
-有機半導体・有機ELディスプレイの新たな製造方法を確立-
平成21年7月1日

知的財産戦略センターVCADシステム研究プログラム加工応用チームらは、静電気力を活用して薄膜を製造するエレクトロスプレー・デポジション(ESD)法を改良し、品質の低下を招いていたピンホールのない有機半導体の薄膜パターンを形成することに世界で初めて成功しました。新ESD法を活用した薄膜は、平均粗さが1nmの平滑さを達成し、従来の手法を上回る高品質な薄膜パターンを実現しました。

従来のESD法では、基盤にスプレーした溶液の微細な液滴が乾燥する際にナノ粒子ができて薄膜を形成するため、薄膜上にピンホールが発生し、薄膜の品質低下を招いていました。研究チームらは、2種類の蒸発速度が異なる溶液を適切な割合で混合する手法で、ピンホールのない高品質な薄膜形成を可能にする条件を発見し、課題を克服しました。

新手法を活用すると、材料の溶液をスプレーするだけで、大面積の薄膜を形成することが可能になるとともに、微細なパターンも効率的に生み出すことができます。さまざまな有機半導体デバイスの製造手法として、大規模な製造設備への展開を進め、ものづくり現場へと適用範囲を広げることを目指します。

エレクトロスプレー・デポジション(ESD)法
サンプル溶液を細いキャピラリーに収め、基板との間に高電圧を印加することで電界集中により発生する極めて微細な液滴を利用してスプレーし、さらに帯電したサンプルを静電気力により捕集して基板上に薄膜化する手法。タンパク質やDNAなどの固定化によるバイオチップの製造や、合成高分子材料を用いてナノファイバー不織布を作る方法などに応用されている。


材料の溶液をスプレーするだけ、ほんとに簡単な気がしますね。量産化できれば、コスト低下できますが。理研の研究成果って基本的にどっかに売るんですかね。それとも学問の推進だけで、金はいいんですかね、ってことは絶対ないと思うのですが。

薄型表示装置、毎月新しい方式が出るような気がして、とてもじゃないけど、追いつけません。

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