無料ブログはココログ

« 映画『スーパー・チューズデー 正義を売った日』 | Main | ベンチャーの生きる道 »

April 16, 2012

GaN系半導体薄膜素子

NTT、GaN系半導体薄膜素子をサファイア基板から剥離するプロセスを開発

日本電信電話(NTT)は、LEDなどに使われるGaN(窒化ガリウム)系半導体薄膜素子を成長用サファイア基板から容易に剥離するプロセスを開発したと発表した(ニュースリリース)。今回の技術を用いることで、2μm厚といった、薄いGaN系半導体薄膜素子を低コストで作製できるようになるという。可視光を透過して紫外線のみを効率よく吸収する太陽電池の開発や、200μm程度の薄いLEDの作製など、GaN系半導体薄膜材料の応用範囲の拡大が期待できるとする。さらには、剥離する薄膜素子の面積を大きくすることで、大面積の薄膜素子上に別の材料を積層して新たな機能を持つ薄膜素子を大量生産するといった応用も考えられるとしている。

 成長用サファイア基板上にGaN系半導体薄膜素子を積層し、加工してデバイスを作る際、NTTによれば基板の厚みが0.5mm程度、必要になるという。このため、加工後に成長用基板から薄膜素子をきれいに剥離し、別の基板に貼り付ける研究が世界中で進められている。NTTの物性科学基礎研究所では、グラファイトと同じ層状の結晶構造を持つBN(窒化ホウ素)に着目して研究を進め、MeTRe法(メートル法:Mechanical Transfer using a Release layer)を開発した。MeTRe法では剥離後の結晶面をきれいに保てるため、従来提案されてきた転写方法では必要となる、剥離後に表面を削って平らにする工程が省けるという。また、剥離するための大規模装置や薬剤が不要になり、作製時間や作製コストの大幅な削減が期待できる。


工業用サファイヤと言えばあの会社かなと思ったものですから。

NTTとも共同開発しとるしな。
太陽電池は急成長産業ですな。

Ntt3safaiya


アマサイ、薄膜、だーいすきー。人気blogランキング・自然科学にぷちっとな。【押す】
≪コメントは応接室にお願いします。≫

« 映画『スーパー・チューズデー 正義を売った日』 | Main | ベンチャーの生きる道 »

「自然科学・工学」カテゴリの記事

TrackBack

TrackBack URL for this entry:
http://app.cocolog-nifty.com/t/trackback/61116/54489332

Listed below are links to weblogs that reference GaN系半導体薄膜素子:

« 映画『スーパー・チューズデー 正義を売った日』 | Main | ベンチャーの生きる道 »

サイト内検索
ココログ最強検索 by 暴想

更新情報

August 2017
Sun Mon Tue Wed Thu Fri Sat
    1 2 3 4 5
6 7 8 9 10 11 12
13 14 15 16 17 18 19
20 21 22 23 24 25 26
27 28 29 30 31