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May 10, 2012

MEMS発振器

空隙がない構造のMEMS発振器、ジッター1psで水晶の半額

米Integrated Device Technology, Inc.(IDT)は、水晶発振器を置き換えられる性能を備え、価格は安いというMEMS発振器を製品化した。クロックの精度を規定する位相ジッターを最大1psに抑えており、Gigabit Ethernetなどの高速通信インタフェースに利用できる。価格は「1000個購入時に水晶発振器の半額、10万個購入時には3割安い」(同社)。6ピンの水晶発振器(XO)とピン互換であり、大きな設計変更なく水晶発振器を代替可能だ。

スティクションが生じない
 IDTは、2012年5月10日にこの製品のサンプル出荷を始めた。「pMEMS」と同社が名付けたデバイス技術を使っている。一般的なMEMS発振器(Si発振器)と異なり、「スティクションが原理的に生じず信頼性が高い」(同社)。既存の多くのMEMS発振器では、クロック源となるSi振動子をSi基板から浮かせた構造として、Si振動子を静電気力などによって安定的に振動させている。大きな静電気力が加えられるように空隙はできるだけ狭める。このため、大きな衝撃を与えた場合などに、Si振動子がSi基板と接触し、離れなくなるスティクション現象が生じることがある。


スティクションって何かな、と思ったもので。

Idt_mems_2

stiction ≪英辞郎≫
1. 静(止)摩擦(力) satic + friction
2. 吸着、張り付き ◆ハードディスクの磁気ヘッドがディスクの記録面に張り付いてしまうこと。
『Wiktionary』
The static friction that needs to be overcome to enable relative motion of stationary objects in contact

空間がふさがってしまうと強度に問題がでそうですね。

特許公報とか読んでみないとよくわからないな( ..)φメモメモ

MEMSは前職でいくつか特許出願していたけど。

もうちょっと技術に関わりたいなあ、と思う今日この頃。人気blogランキング・自然科学にぷちっとな。【押す】
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