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November 16, 2013

ロボットのセンサ着ぐるみ

ヒト共生ロボットの全身を覆う触覚センサ、セラミック基板使い低価格に
2013/11/15

東北大学、トヨタ自動車、豊田中央研究所は、介護現場などで人間を支援するロボット向けに、全身を覆う多数の触覚センサを低コストに実装する技術を共同開発した。触覚センサとデータ読み出し/送信回路をSi基板で形成し、裏面に配線を引き出すための電極をLTCC(low temperatureco-fired ceramics:低温同時焼成セラミックス)で作る。裏面への配線をSi基板にTSV(Si貫通電極)で形成するよりも製造プロセスが簡素で安価になる。2013年11月7日まで仙台市で開催された第5回「集積化MEMSシンポジウム」で発表した(講演番号:7PM1-E-2)。

 LTCCによる今回の手法では、一般的なLTCCと同様に焼成前のセラミック・シート(グリーンシート)にAuなどの導電性ペーストをスクリーン印刷して積層させる。ここに貫通孔も通して導電性ペーストを埋めておく。これを、エッチングで薄膜を形成したSi基板と接続する。このSi薄膜とLTCC基板表面の導電部が、向かい合ってキャパシタを形成する。Si薄膜の変位が静電容量変化になる。


Tohokutoyotaz1


ロボットの着ぐるみかいな。できないことではないんでしょうね、薄膜センサを使えば。

トヨタはロボットの方をどんどん開発していくんかな。


MEMSと聞くと血が騒ぐ?!。人気blogランキング・自然科学にぷちっとな。【押す】≪応接室、ちょっと不具合が出ています。少々お待ちください≫

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